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진공 플라즈마 공정기술 특화교육○ 프로그램명: 플라즈마 표면처리 공정 실무 교육 및 ISO17024 기반 국제자격 취득 과정
○ 교육장소
- 플라즈마 표면처리 공정 실무 교육: 국립한밭대학교 S8동 117호
- ISO17024 기반 국제자격 취득 과정: 국립한밭대학교 S3동 415호
○ 교육대상: 국립한밭대학교 및 대학생 등 총 25명 내외
○ 교육내용: 특성별 플라즈마 적용 기술 교육 및 공정 실습, ISO17024 기반 국제자격 취득을 위한 심화 교육
○ 강사: ㈜화인솔루션 태기관 수석연구원, 엘케이와이 허윤성 대표
○ 특전: 교육기관 수료증 발급, ISO17024 기반 국제자격(Plasma Surface Treatment Specialist) 취득 기회 제공, Unit 부여
○ 교육 홍보 및 참여학생 선발
- 홍보 방법: 대학 및 사업단 홈페이지 공고, 대산협 뉴스레터 공고(공문 및 포스터 게시), 대산협 회원교 자체 모집
- 선발: 교육참여 접수 기간 중 관련 학과 신청 학생 선착순
※ 상황에 따라 일정 및 장소 변동 가능
□ 교육 내용 및 일정
일정 | 주요 강의내용 | 강사 | |
일자 | 시간 | ||
7.27.(월) | 13:00∼18:00 (5H) | ∘ 내용 소개 및 진행 방법 공유 ∘ 반도체 공정의 플라즈마 기술 적용 ∘ 진공 환경 필요성 | 태기관 |
7.28.(화) | 09:00∼18:00 (8H) | ∘ 플라즈마 발진 ∘ 캐소드 플라즈마 이해 ∘ 기판 상태와 박막 부착력 관계 실험(S1) ∘ Cu와 CuO 박막을 이용한 리프트오프 실험(S2) | |
7.29.(수) | 09:00∼18:00 (8H) | ∘ 애노드 플라즈마 특성 및 적용 공정 ∘ 플라즈마 식각 및 현상 및 세정 공정 ∘ 지문/Cu or Glass : 패턴 식각하기 (S3) ∘ 폴리머/Cu 패턴 식각하기 (S4) | |
7.30.(목) | 09:00∼18:00 (8H) | ∘ 애노드 플라즈마 산업 응용 ∘ 표면개질 현상 이해 ∘ 물방울 접촉 특성 (S5) ∘ 박막 부착력 특성: Cross cutting test (S6) | |
7.31.(금) | 09:00∼12:00 (3H) | ∘ 실습 내용 및 결과 정리 / 평가 ∘ 산업용 플라즈마 기술 특성 ∘ 토론 및 질의 응답 | |
일정 | 주요 강의내용 | 강사 | |
일자 | 시간 | ||
8.3.(월) | 13:00∼17:00 (4H) | ∘ 물질 구조 ∘ 플라즈마 정의 및 현상 ∘ 플라즈마 특성 이해 | 허윤성 |
8.4.(화) | 09:00∼17:00 (7H) | ∘ 플라즈마 구성 요소 및 전하 특성 ∘ 진공 기술의 이해 ∘ 플라즈마 건식 표면 세정 | |
8.5.(수) | 09:00∼18:00 (8H) | ∘ 플라즈마 식각 공정 및 장치 기술 ∘ 플라즈마 적용 박막 코팅 공정 ∘ 박막 코팅 공정 장치기술 | |
8.6.(목) | 09:00∼18:00 (8H) | ∘ 표면개질 기술의 산업 적용 ∘ 플라즈마 적용 박막 코팅 공정 ∘ 박막 코팅 공정 장치기술 | |
8.7.(금) | 13:00∼18:00 (5H) | ∘ 과정 평가 ∘ 토론 및 질의 응답 | |
